國產(chǎn)激光干涉儀作為一種高精度測量?jì)x器，在科學(xué)研究、工業(yè)生產(chǎn)和醫療診斷等領(lǐng)域有著(zhù)廣泛的應用。以光波為載體，利用激光作為長(cháng)度基準，建立在激光和自動(dòng)控制技術(shù)基礎上的一種高精度三維測量系統，主要用于大尺寸空間坐標測量領(lǐng)域。它集中了激光干涉測距、角度測量等先進(jìn)技術(shù)，基于球坐標法測量原理，通過(guò)測角、測距實(shí)現三維坐標的精密測量。
 

　　儀器主要采用光柵度盤(pán)測角(相對增量式測角)。度盤(pán)轉動(dòng)時(shí)，光信號通過(guò)莫爾條紋落在光電接收管上，每轉動(dòng)一條光柵，接收管上就相應移動(dòng)一個(gè)條紋寬度，接收管中輸出電流變化一周期(光柵夾角已知，利用計數器所計電流周期即可計算角度值)。
 

　　基本原理：
 

　　激光跟蹤儀由干涉儀/測距儀與兩個(gè)互相垂直的測角系統構成。通過(guò)雙軸旋轉驅動(dòng)機構控制光線(xiàn)跟蹤反射靶的移動(dòng)，同時(shí)測得反射靶球的距離及旋轉軸的角坐標，確定目標點(diǎn)三維坐標。測量時(shí)在目標點(diǎn)P處放置一個(gè)棱鏡反射球，激光頭發(fā)射并接收反射球返回的激光，儀器便可同時(shí)獲取目標點(diǎn)P的儀轉角α、儀頂角β和斜距D，即可求得目標點(diǎn)P的三維坐標。
 

　　激光束通過(guò)分光鏡后，分成兩束激光(參考光束和測量)，分別經(jīng)兩個(gè)角錐反射鏡反射后平行于出射光返回，通過(guò)分光鏡后進(jìn)行疊加(兩束激光頻率相同、振動(dòng)方向相同且相位差恒定，即滿(mǎn)足干涉條件)，產(chǎn)生相長(cháng)或相消。反射鏡每移動(dòng)半個(gè)激光波長(cháng)，將產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現象，通過(guò)接收到的明暗條紋變化及電子細分，即可求得距離變化(距離=干涉條紋數*激光半波長(cháng))。
 

　　國產(chǎn)激光干涉儀的創(chuàng )新點(diǎn)：
 

　　系統集成化：在硬件設計和軟件開(kāi)發(fā)上進(jìn)行了深度集成，使得儀器更加緊湊、便攜和易于操作。新穎點(diǎn)：采用嵌入式處理器和操作系統，實(shí)現智能化控制和數據處理，提高儀器的性能和用戶(hù)體驗。
 

　　自適應測量技術(shù)：：引入自適應測量技術(shù)，可以根據不同的測量對象和環(huán)境條件自動(dòng)調整參數和算法，提高測量的精度和可靠性。新穎點(diǎn)：采用機器學(xué)習和人工智能算法，實(shí)現自動(dòng)學(xué)習和優(yōu)化，適應復雜多變的測量場(chǎng)景。
 

　　多通道數據采集：；引入多通道數據采集技術(shù)，可以同時(shí)采集多個(gè)點(diǎn)的位移信息，提高測量效率和多點(diǎn)監測能力。新穎點(diǎn)：采用高速ADC和并行信號處理技術(shù)，實(shí)現高精度、高速率和高密度的數據采集和處理。
 

　　國產(chǎn)激光干涉儀在原理、應用和創(chuàng )新方面取得了重要進(jìn)展。通過(guò)充分發(fā)揮技術(shù)優(yōu)勢，國內廠(chǎng)商不斷改進(jìn)和創(chuàng )新激光干涉儀的性能和功能，提高其在科研、工業(yè)和醫療領(lǐng)域的應用價(jià)值。