激光干涉儀是一種高精度、高測量范圍的測長(cháng)儀,由于其優(yōu)良的性能,被廣泛地應用于多種場(chǎng)合,特別是對長(cháng)、大位移的測量。對于長(cháng)度的測量,一般200米以上的測量都是一般的長(cháng)度測量,3m以下的長(cháng)度測量是3m,3~200m的測量稱(chēng)為大尺寸測量。在一般長(cháng)度測量中,被廣泛使用??稍谑覂冗M(jìn)行恒溫、恒濕、防震的量塊、標尺、標尺、坐標測量?jì)x等。還可在普通車(chē)間對大型機床進(jìn)行標定,既能測量幾十米長(cháng),又能測量手表零件等微小運動(dòng),不僅能測量長(cháng)度、角度、直線(xiàn)度、平行度、平面度、垂直度等幾何尺寸。是科學(xué)研究、光刻機、數控機床、艦船等行業(yè)都離不開(kāi)的光學(xué)尺子,用于測量零部件的尺寸,角度,位置,直線(xiàn)性,也是檢定各類(lèi)數控機床、激光加工機床以及光刻機臺的精度,進(jìn)行誤差補償的基本儀器。
隨著(zhù)智能制造技術(shù)的發(fā)展,檢測已經(jīng)成為生產(chǎn)過(guò)程中越來(lái)越重要的一部分,位移檢測是檢測手段之一。一般來(lái)說(shuō),設備的檢測精度應達到加工精度的3倍以上。如果要以3微米的精度加工,其檢測精度至少應小于1微米,因此激光干涉儀已經(jīng)成為智能制造設備的關(guān)鍵部件之一。
但是,由于激光測量系統測量時(shí)與一般的自準直儀不同,下面就來(lái)具體介紹下調整方法:
1.調光束平行于被測軌道。
(1)將反射鏡座和分光鏡座放置在被測軌道上,分光鏡的高度放置在可調節范圍的中間,調整高度,雷射頭與反射鏡、分光鏡大致保持在同一高度。
(2)激光頭的左右擺動(dòng)是根據反射鏡上光點(diǎn)在Y方向的偏移來(lái)調節的。在Y方向的鏡面上,光點(diǎn)不會(huì )偏移。
2.調節鏡子和反射鏡的鏡面垂直于激光束。
(1)調整反射鏡的高度,使激光頭上孔發(fā)出的光束反射后全部返回雷射頭(孔內指示燈亮);
(2)放置分光鏡,覆蓋反射鏡,調整分光鏡的高度,使激光頭上孔發(fā)出的光束通過(guò)分光鏡后全部返回(指示燈亮);
以上就是小編為大家介紹的激光干涉儀的相關(guān)內容,希望對大家能有所幫助。