國產(chǎn)激光干涉儀具有高強度、高方向、空間同調、窄帶寬、高單色等優(yōu)點(diǎn)。以穩頻氦激光為光源，形成干涉測量系統。配合各種折射鏡、反射鏡等?？梢詼y量線(xiàn)位、速度、角度、真實(shí)性、直線(xiàn)性、平線(xiàn)性、直線(xiàn)性、直線(xiàn)性、直線(xiàn)性和直線(xiàn)性，可以作為測量?jì)x器的校正。
主要用途是測量目標的運動(dòng)狀態(tài)，即目標的線(xiàn)性位移大小、旋轉角度（滾轉、俯仰和偏擺）、直線(xiàn)度、垂直度、兩個(gè)目標在運動(dòng)的平行性（度）、平面度等。無(wú)論=機臺，還是數控機床的導軌（包括激光加工機床），不論是飛行物，還是靜止物的熱膨脹、變形，一旦需要高精度，都要用激光干涉儀測量，得到目標的運動(dòng)狀態(tài)。
隨著(zhù)數控機床應用的普及，國產(chǎn)激光干涉儀檢測數控機床的精度已成為一種高精度的檢測手段。在不同的機床上，用激光干涉測量相同的精度曲線(xiàn)，需要對檢測結果進(jìn)行科學(xué)的分析。以下是儀器的維護事項分析，與大家一起探討有效的方法。
維護：
1.儀器放置在干燥干凈的室內，防止振動(dòng)。移動(dòng)時(shí)，儀器應固定底座，防止導軌變形。
2.不使用光學(xué)零件時(shí)，應存放在干凈干燥的盆中，以防發(fā)霉。反射鏡和分光鏡一般不允許擦洗。需要擦拭時(shí)，先用備件刷仔細擦去灰塵，然后用脫脂棉球滴酒精輕輕擦拭。
3.傳動(dòng)部件應潤滑良好。特別是導軌、螺桿、螺母和軸孔部分，用儀表油潤滑。
4.在使用過(guò)程中，各調節部位應用力適中，不得有強旋、硬拉。
5.導軌上的絲杠應防止劃傷和生銹。使用后，得失油。
6.儀器零件經(jīng)調整后，應涂紅漆，不得隨意轉動(dòng)。
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