產(chǎn)品原理是采用白光共聚焦色差技術(shù)，利用白光點(diǎn)光源，光線(xiàn)經(jīng)過(guò)透鏡后產(chǎn)生色差，不同波長(cháng)的光分開(kāi)后入射到被測樣品上。位于白光光源的對稱(chēng)位置上的超靈敏探測器系統用來(lái)接收經(jīng)被測點(diǎn)漫反射后的光。根據準共聚焦原理，探測器系統只能接收到被測物體上單點(diǎn)反射回來(lái)的特定波長(cháng)的光，從而得到這個(gè)點(diǎn)距離透鏡的垂直距離。再通過(guò)點(diǎn)掃描的方式可得到一條線(xiàn)上的坐標，即X-Z坐標，以S路徑獲得物體每個(gè)點(diǎn)的三維X-Y-Z坐標。將采集的三維坐標數據交給三維處理軟件進(jìn)行各種表面參數的分析。

　　形貌儀的校準方法：

　　1、三維形貌校準：這一校準都和形貌測量的“高度”結果相關(guān)，所以稱(chēng)為三維校準。主要包括對干涉物鏡參考面形貌誤差的標定；以及使用標準臺階塊對臺階高度測試精度校準。

　　2、二維光強校準：這一校準和成像視場(chǎng)范圍內的“光強”信號相關(guān)。設備有一些功能，可以增強用戶(hù)對樣品表面觀(guān)察效果。比如在某觀(guān)測模式下，可以自動(dòng)去除視場(chǎng)中黑白條紋，更清楚地觀(guān)測表面紋理；真彩模式可以復現表面彩色信息。

　　由于以上功能相關(guān)標定都只涉及“光強”，不涉及到形貌高度，所以稱(chēng)為二維光強校準。

　　3、橫向校準：形貌儀這一校準是為了標定在當前設置下，每個(gè)像素在橫向上代表的尺寸大小。