要測量線(xiàn)性軸的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數據，需要使用激光測量系統的以下組件，主要有：XL 激光頭、三腳架和云臺、XC 環(huán)境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線(xiàn)性測量光學(xué)鏡組、光學(xué)鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。

　　機床激光干涉儀的信號時(shí)交流信號，因而對于激光干涉儀來(lái)說(shuō)，可用放大倍數較大的交流放大器對干涉信號進(jìn)行放大，這樣，即使光強衰減90%，依然可以得到合適的電信號。該產(chǎn)品可以在恒溫，恒濕，防震的計量室內檢定量塊，量桿，刻尺和坐標測量機等，也可以在普通車(chē)間內為大型機床的刻度進(jìn)行標定。

　　如果測量光路長(cháng)度改變（角E反射鏡C移動(dòng)），干涉光束的相對相位將改變，由此產(chǎn)生的相長(cháng)干涉和相消干涉的循環(huán)將導致疊加光束強度的明暗周期變化。角錐反射鏡每移動(dòng)316nm，就會(huì )出現一個(gè)光強變化循環(huán)（明—暗—明）通過(guò)計算這些循環(huán)來(lái)測量移動(dòng)。通過(guò)在這些循環(huán)之間進(jìn)行相位細分，實(shí)現更高分辨率（1nm）的測量。

　　機床激光干涉儀具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結合，可以實(shí)現對直線(xiàn)度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。

　　在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數控機床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測，可以進(jìn)行機床振動(dòng)測試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅動(dòng)系統的響應特性分析，導軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有*的精度和效率，為機床誤差修正提供依據。