機床激光干涉儀基礎知識一篇搞定
更新時(shí)間:2021-06-22 點(diǎn)擊次數:1522
機床激光干涉儀可利用其線(xiàn)性測長(cháng)功能,不僅能夠測量出數控機床的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數據并對精度進(jìn)行補償。還能幫助我們利用檢測圖形和數據,來(lái)分析數控機床出現故障的原因及解決辦法,從而迅速恢復機床,縮短數控機床維修時(shí)間,提高數控機床維修的效率。
要測量線(xiàn)性軸的定位精度、重復定位精度和反向間隙等數據,需要使用激光測量系統的以下組件,主要有:XL 激光頭、三腳架和云臺、XC 環(huán)境補償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線(xiàn)性測量光學(xué)鏡組、光學(xué)鏡安裝組件及安裝激光測量軟件的計算機。
機床激光干涉儀的信號時(shí)交流信號,因而對于激光干涉儀來(lái)說(shuō),可用放大倍數較大的交流放大器對干涉信號進(jìn)行放大,這樣,即使光強衰減90%,依然可以得到合適的電信號。該產(chǎn)品可以在恒溫,恒濕,防震的計量室內檢定量塊,量桿,刻尺和坐標測量機等,也可以在普通車(chē)間內為大型機床的刻度進(jìn)行標定。
如果測量光路長(cháng)度改變(角E反射鏡C移動(dòng)),干涉光束的相對相位將改變,由此產(chǎn)生的相長(cháng)干涉和相消干涉的循環(huán)將導致疊加光束強度的明暗周期變化。角錐反射鏡每移動(dòng)316nm,就會(huì )出現一個(gè)光強變化循環(huán)(明—暗—明)通過(guò)計算這些循環(huán)來(lái)測量移動(dòng)。通過(guò)在這些循環(huán)之間進(jìn)行相位細分,實(shí)現更高分辨率(1nm)的測量。
機床激光干涉儀具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結合,可以實(shí)現對直線(xiàn)度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。
在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數控機床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測,可以進(jìn)行機床振動(dòng)測試與分析,滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析,驅動(dòng)系統的響應特性分析,導軌的動(dòng)態(tài)特性分析等,具有*的精度和效率,為機床誤差修正提供依據。