禪宗有看山看水的參禪三重境，講的是人對客觀(guān)事物的認識由淺及深乃至*明悟的過(guò)程。今天就由中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀為大家帶來(lái)關(guān)于超精密加工后的微結構的探索與發(fā)現，帶領(lǐng)大家踏上一場(chǎng)“參禪三重境”的視覺(jué)之旅。

　　一重境：看山是山，看水是水。我們選取了一張經(jīng)由VCUT微刻刀加工過(guò)的塑料薄片，初看下面的這張塑料片，想必讀者一看再看，也無(wú)法找到它和其它的透明塑料片有何不同，“這只是一張普通的塑料片”是各位讀者所能得到的初步認識，此乃一重境。

　　二重境：看山不是山，看水不是水。既然肉眼不可辯，那么將這張普通的塑料片放到顯微鏡下一探究竟。一面布滿(mǎn)了點(diǎn)狀顆粒，另一面則被條狀溝槽所填滿(mǎn)，構成了塑料片表面的微觀(guān)世界，但只知其平面外形卻不知其三維形態(tài)，知其一不知其二，可謂二重境。

　　三重境：看山仍是山，看水仍是水。為一窺真容，使用中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀對這張塑料片上下表面進(jìn)行掃描，點(diǎn)顆粒和溝槽輪廓一覽無(wú)余。

　　點(diǎn)顆粒是凸點(diǎn)，而溝槽則是弧形波，進(jìn)一步使用儀器的輪廓分析功能對凸點(diǎn)和弧形波進(jìn)行測量，得到它們的尺寸數據。

　　單個(gè)凸點(diǎn)截面直徑約42µm、高3.8um、夾角160°，分布周期97µm；單個(gè)弧形波高約1.6µm、寬約35µm，周期35µm。掌握了全部的輪廓數據，對這有著(zhù)微結構的塑料片，我們有了全面而的認識，稱(chēng)得上“看山還是山，看水還是水”。

　　超精密加工，是在傳統精密加工上的升級，代表著(zhù)先進(jìn)制造業(yè)的發(fā)展方向，也代表著(zhù)一個(gè)國家制造業(yè)的gao水準，超精密的加工水準必須匹配超高性能的檢測儀器，而以白光干涉為原理研制而成中圖儀器SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀，就像一雙能夠明察秋毫的眼鏡，幫助我們在超精密加工的微觀(guān)世界里，具備“看山還是山，看水還是水”的本領(lǐng)。